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智能真空計SC-10的操作注意事項

發(fā)布時間:2022-08-10 點擊量:925

智能真空計SC-10的操作注意事項

SC-10智能真空計是我公司研制的一款全新的自動真空計,既能測量殘余氣體成分,又能測量全壓真空。
總真空度從大氣壓到10-7Pa超高真空,當總壓達到50Pa左右時自動開始氣體成分的分壓,可以測量10-5Pa左右到10-6Pa左右。
可以在粗抽壓力范圍內測量氣體成分并進行泄漏檢查,這是傳統(tǒng)氣體分析儀無法做到的。

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只需將其打開并將其連接到您的 PC,無需其他操作。SC-10 內置的全量程真空計測量從大氣壓到超高真空的總壓力,當總壓力達到約 50 Pa 時,自動開始測量殘余氣體成分(分壓測量)。
即使恢復到大氣壓,氣體成分測量也會自動關閉,因此無需擔心。


圖 5 收縮.png




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殘留氣體測量在約 50 Pa 的低真空下進行,因此可以通過常規(guī)氣體分析儀 (RGA) 無法操作的粗抽壓力檢測異常和泄漏檢查。




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由于沒有燈絲,所以耐臟,不用擔心會斷。即使傳感器變臟,您也可以自己輕松清潔。




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以條形圖和趨勢圖顯示總壓力和氣體成分分壓。

即使在測量期間,您也可以縮放軸并滾動回過去的時間。

只需按下記錄按鈕即可記錄并保存為csv文件格式,方便以后分析數據。

操作系統(tǒng)支持 Windows XP/Vista/7/8/10。

圖 6 收縮.png
條形圖模式

圖7 收縮.png
趨勢圖模式


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由于沒有燈絲,所以耐臟,不用擔心會斷。即使傳感器變臟,您也可以自己輕松清潔。

智能真空計SC-10的原理

SC-10 通過測量總壓力的冷陰極計放電的顏色來區(qū)分氣體成分。利用光的顏色(波長)根據氣體成分而不同的事實來測量成分。也可以在 SC-10 光譜模式屏幕上查看氣體成分的波長。
由于氣體成分測定部設置在大氣壓側,因此不會被真空中的氣體污染,可以不受污染影響地進行測定。此外,冷陰極真空計不含燈絲,因此可用于嚴苛的應用。

圖 10 收縮.png
頻譜模式屏幕

發(fā)光氬.png 發(fā)光氮.png 發(fā)光氧.png 發(fā)光氦.png 發(fā)光水汽.png


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